「某半導(dǎo)體」有機(jī)廢氣和酸堿廢氣治理
山東某半導(dǎo)體公司是一家專注于碳化硅單晶襯底材料研發(fā)、生產(chǎn)和銷售的科技型企業(yè)。在半導(dǎo)體工藝制程中，需要使用多種特殊氣體、大量的酸、堿等化學(xué)品以及有機(jī)溶劑和揮發(fā)性液體，這些氣體和化學(xué)品在半導(dǎo)體制造的不同工藝中使用會(huì)產(chǎn)生廢氣。半導(dǎo)體企業(yè)廢氣一般分為酸性排氣、堿性排氣、有機(jī)廢氣、砷排和一般排氣等。
在做廢氣處理設(shè)備前段，需要對(duì)半導(dǎo)體生產(chǎn)車間的廢氣進(jìn)行收集，通過(guò)通風(fēng)管道系統(tǒng)進(jìn)入廢氣處理設(shè)備，才能有效治理；
前段酸堿廢氣處理：采用兩段噴淋塔對(duì)酸堿廢氣進(jìn)行預(yù)處理，同時(shí)去除廢氣內(nèi)含的粉塵有效治理；
酸性廢氣采用堿液洗滌塔，廢氣與氫氧化鈉吸收液進(jìn)行氣液兩相充分接觸吸收中和反應(yīng)，酸性廢氣經(jīng)過(guò)凈化后，堿性廢氣進(jìn)入第二段酸液洗滌塔，與稀硫酸吸收液進(jìn)行氣液兩相充分接觸吸收中和反應(yīng)，堿性廢氣經(jīng)過(guò)凈化
怡帆機(jī)電定制的廢氣系統(tǒng)處理方案，VOCs排放濃度符合當(dāng)?shù)氐呐欧艠?biāo)準(zhǔn)，在半導(dǎo)體行業(yè)中該系統(tǒng)設(shè)備更科學(xué)、更安全、高效率的解決廢氣問(wèn)題，性價(jià)比更高，且無(wú)二次污染。
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